加熱防腐型勻膠機?

一、技術原理與核心參數

加熱防腐型旋轉涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體，外觀美觀堅固，具有優良的化學穩定性和ji強的耐腐蝕性，能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到 12000 轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到 200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完quan可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。

二、關鍵性能參數

三、應用領域

?光電子學領域?：用于制備太陽能電池、有機發光二極管（OLED）、有機太陽能電池（OPV）等器件的薄膜涂層?；

?半導體與微電子制造?：適用于光刻膠旋涂、晶圓表面涂布等工藝，支持最大12英寸晶圓處理?；

?材料科學?：可制備金屬、半導體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜，尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境?；

?生物醫學領域?：用于生物傳感器、生物芯片的涂層制備，聚四氟乙烯腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性?；

?納米科技?：支持納米材料與納米薄膜的制備，高精度控溫（室溫-200℃）和轉速調節（10-12000轉/分鐘）保障工藝穩定性?。

四、基礎操作流程

?A安裝與準備?

?連接設備?

連接真空泵氣管與電源線，確保螺帽擰緊?。

插入設備電源線并打開總開關?。

?安裝吸盤與片托?

根據樣品尺寸選擇吸盤，對準槽口安裝并固定螺絲?。

將片托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置?。

B參數設置?

?選擇勻膠方案?

進入操作界面，選擇預設方案（如5段式參數）或自定義參數?。

?設置轉速、時間與加速度?

示例：第一段速度2000轉/分鐘，時間20秒，加速度2000?1。

分段設置（如第二段3500轉/分鐘，第三段10000轉/分鐘）?。

?溫度控制（如需加熱）?

設置溫度范圍（0-200℃），支持手動或自動加熱模式?。

C旋涂操作?

?放置樣品?

將基片居中放置于片托，啟動真空泵吸附固定?。

?啟動勻膠?

轉速穩定后注入膠液，程序自動分段執行?。

?完成與清潔?

等待轉速歸零，關閉真空泵并取出樣品?。

定期清潔抽氣孔（滴酒精維護）?。

D注意事項?

?防腐設計?：聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕，避免接觸強氧化劑?。

?安全防護?：加熱模塊高溫，操作時勿觸碰?。

五、儀器特點

?1. 防腐設計?

腔體材質采用?聚四氟乙烯（PTFE）?或?聚丙烯（PP）?，抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕?。

部分機型配備?防濺廢料罐?和?排液管?，防止腐蝕性液體污染環境?。

?2. 加熱與溫控功能?

加熱范圍覆蓋?室溫至200℃?，控溫精度±1-2℃，適用于高溫工藝（如光刻膠烘烤）?。

支持?分段控溫?，部分機型集成?抽廢氣功能?，確保工藝穩定性?。

?3. 高精度勻膠性能?

轉速范圍?10-20000轉/分鐘?，電機采用無刷伺服或德國進口電機，保障薄膜均勻性（厚度誤差±1%）?。

部分機型支持?正反轉旋涂?和?分段編程?，優化復雜工藝需求?。

?4. 智能化操作?

配備?觸摸屏控制?、藍牙通信及PC端遠程控制軟件，支持配方存儲與掉電保護?。

實時顯示?轉速曲線?、吸附力及報警功能（如進膠保護、吸附不足互鎖）?。

?5. 安全與兼容性?

透明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質）隔絕有毒氣體，部分機型適配手套箱使用?。

適配半導體、光電子等領域?。

六、配置清單

主機1臺；

測試軟件1套；

說明書1份;

合格證1份;

保修卡1份;

簽收單1份;

銘牌1塊;

電源線1根;

扳手1套;

宣傳冊若干;